전자 | 반도체 - 전공정 CVD CMP Pad Conditioner - 다이아몬드가 코팅된 팁을 배열해 다양한 패턴형상 구현 가능 · 꼭대기가 평평한 면 형상인 CVD 다이아몬드 코팅 팁 · 패드 컨디셔닝을 하는 각 팁에 적용되는 임계압력을 조정 가능 · 패드 컨디셔닝을 위한 팁 사이즈 및 팁 개수에 대한 다수의 특허 보유 · 패드와 [...]

전자 | 반도체 - 전공정 New BSL CMP 패드 컨디셔너 · 강력한 다이아몬드 결합력 : 화학적 반응 + 물리적 접촉 · 다이아몬드와 본드 사이에 생성되는 Carbide interface로 인해 내부식성이 강함 · 다이아몬드 면의 모서리를 사용하여 더 길어진 수명 · 다이아몬드의 높은 노출 높이로 인해 diamond chip pocket 형성 → 컨디셔닝 효율이 높고 [...]

전자 | 반도체 - 전공정 전착 CMP 패드 컨디셔너 · 니켈 도금을 통한 다이아몬드와 본드의 물리적 결합 · 훌륭한 디스크 평탄도 : 뛰어난 웨이퍼 균일성 · 제로 마이크로 스크래치에 가까운 깨끗한 디스크 표면 PDF CATALOGUE

전자 | 반도체 - 전공정 엣지 그라인딩 휠 · 다양한 형상의 groove 디자인 가능 · 정밀한 형상제어 가능 · 뛰어난 형상 유지력 · 설계 기술 확립을 통한 장수명 제품 · 한개의 휠로 multi-grinding 가능 (황삭/정삭) · Groove run-out 우수 · 전용라인 생산을 통한 품질 안전성 확보 PDF CATALOGUE [...]