Project Description

반도체 – 전공정

CVD CMP Pad Conditioner

– 다이아몬드가 코팅된 팁을 배열해 다양한 패턴형상 구현 가능
· 꼭대기가 평평한 면 형상인 CVD 다이아몬드 코팅 팁
· 패드 컨디셔닝을 하는 각 팁에 적용되는 임계압력을 조정 가능
· 패드 컨디셔닝을 위한 팁 사이즈 및 팁 개수에 대한 다수의 특허 보유
· 패드와 접촉하는 팁의 꼭대기 면은 컨디셔닝 시간에 따라 변화하지 않음
· 일정하게 유지되는 Pad Cut Rate
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